2）系统控制单元：可分为按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）三种。二、真空室：真空室可分为两种主要材料：1）不锈钢真空室，不锈钢 钝化 附着力2）石英室。 3个真空泵：真空泵可分为两种：1）干式泵，2）油泵 等离子是在物质存在的情况下，通常处于固态、液态和气态三种状态，
